熱式氣體質(zhì)量流量計是利用加熱時液體溫度上升至某一值所需的能量與液體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量液體或氣體質(zhì)量的一種流量儀表。一般用來測量煤氣等氣體質(zhì)量的流量。它具有壓損小、流量范圍度大、高精度、高重復(fù)性、高可靠性、體積小、易維護不易損壞等特點。

早期的熱式氣體質(zhì)量流量計直接將加熱線圈和測溫元件放入液體中與液體接觸，是一種接觸式流量計，由于現(xiàn)場環(huán)境中普遍存在腐蝕、磨損及防爆問題，使它在工業(yè)應(yīng)用中受到很大限制。到 20 世紀 50 年代，人們又提出了不接觸液體的邊界層流量計，克服了接觸式流量計的缺點，但測量結(jié)果受介質(zhì)參數(shù)(如熱導(dǎo)率、比率、粘度)以及環(huán)境的震動等因素的影響。

到 20 世紀 70 年代，基于測量液體溫度分布的熱分布型 TMF，優(yōu)點很多，但只適用于小管徑測量。此后，人們又設(shè)計了一種插入式熱式氣體質(zhì)量流量計，它在國內(nèi)得到了迅猛的發(fā)展，可以用來測量大管徑的氣體流量。